Mikrozahnrad, REM-Aufnahme. Forschungszentrum Karlsruhe.
Mikrozahnräder auf Wafer. BESSY GmbH, Berlin.
Mikrozahnräder. BESSY GmbH, Berlin.
Metallische Mikroteile
temicon fertigt metallische Mikroteile für die Mikroaktorik und Mikroreaktionstechnik. Beispiele sind Mikrozahnräder für Mikromotoren und die Uhrenindustrie.
Die Mikroteile können in folgenden Spezifikationen geliefert werden: Strukturgeometrien und –abmessungen nach Kundenanfrage.
- Trägerformate: bis zu 8 Zoll rund, bis zu 6 x 6 Zoll quadratisch
- Dicke der Mikroteile: 100 - 1500 µm
- Material: Nickel, Hartnickel, Nickel-Legierungen
