Mikrobauteile mit vielfältigen Funktionen

Im industriellen Maßstab werden bei temicon hochpräzise metallische Mikrokomponenten mittels Lithographie und Galvanotechnik gefertigt. Immer dann, wenn die klassischen Verfahren Zerspanen, Stanzen, Laserschneiden oder Photoätzen an ihre Grenzen stoßen, kommt unsere innovative Technologie zum Einsatz.

 » Siehe auch: LiGa = Lithographie und Galvanoformung

Typischerweise werden viele Mikrobauteile zusammen in einer Charge hergestellt und anschließend vereinzelt. Auf diese Weise können große Stückzahlen wirtschaftlich und in hoher Qualität realisiert werden. Die Abmessungen der Strukturen reichen von mehreren 100 µm bis hin zu wenigen 100 nm.

Mikromembranen und Mikrosiebe finden in einer Vielzahl von Anwendungen, z. B. in der Umwelttechnik, Lebensmittelindustrie, Pharmazie, Biotechnologie, in optischen, fluidischen, mechanischen oder elektronischen Systemen ihren Einsatz.

Die Mikrolochstrukturen werden beispielsweise zur Filtration, Separation, Dosierung und Zerstäubung genutzt. Die kleinen Bauteile sind oft das Herzstück von High-Tech-Geräten und Anlagen. Ein weiteres bedeutendes Anwendungsfeld sind Mikrolochfolien als Schablonen und Schattenmasken für den Siebdruck oder PVD-Verfahren.

Metallische Bauteile – Spezifikationen

Material Weichnickel (~200–250HV 0,1)
Hartnickel (~600–650HV 0,1)
Beschichtung vergoldet (galvanisch 2–3 µm)
gesputtert (~0,1 µm)
geschwärzt (Chrom 2–3 µm)
Nickel (wenige Nanometer)
Außenmaß Weichnickel (480 mm x 580 mm)
Hartnickel (370 mm x 470 mm)
Schichtdicke 5 µm bis 320 µm
Strukturbreite 0,3 µm bis mehrere Millimeter
Profil Zylinderprofil
Zwei-Stufen-Profil
Trompetenprofil