Schattenmasken

Schattenmasken sind Mikrolochfolien für PVD-Verfahren (Sputtertechnik, Aufdampftechnik).

Die Schattenmasken werden beispielsweise für die Aufbringung von Metallelektroden auf Bauteile aus Kunststoff, Glas oder Keramik eingesetzt. Auch können zum Beispiel oxidische Isolationsstrukturen mittels Schattenmasken im PVD-Verfahren aufgebracht werden.

Die steigenden Anforderungen an Präzision und Strukturauflösung können durch galvanisch aufgebaute Schattenmasken erfüllt werden. Diese zeichnen sich durch senkrechte, gratfreie Kanten mit geringer Rauhigkeit aus. Die Schattenmasken aus Nickel lassen sich zudem magnetisch auf dem Substrat fixieren, so dass ein ganzflächiger Kontakt sichergestellt ist.