Nickel Shims

Stamper, Stamp, Mould, Mold

Nickel Shims von temicon werden für die Replikation von Mikro- und Nanostrukturen mittels folgender Technologien eingesetzt:

Die Shims werden in der Prozesskette Lithographie-Galvanoformung hergestellt. Dabei wird die Strukturierung je nach Strukturtyp mit den photolithographischen Verfahren UV-Lithographie, Laserinterferenz-Lithographie oder mittels alternativer Strukturierungsverfahren ausgeführt. Die Nickel Shims können mit unterschiedlichsten Mikro- oder Nanostrukturen gefertigt werden.

Der Nickel-Nickel-Familienprozess

In der Regel sind ausgehend von einer Nickel-Urform, dem sogenannten Nickel-Vater, weitere Nickelabformungen möglich. Man spricht von dem Nickel-Nickel-Familienprozess. Die erste Nickelabformung wird auch Mutter genannt. Sie weist die inverse Mikrostruktur auf. Die nachfolgende Abformung wird als Sohn bezeichnet. Dieser ergibt die gleiche Strukturorientierung wie der originale Vater.

Typische Spezifikationen

Abmessungen Waferformat bis zu 200 mm rund
Großformat bis zu 500 mm x 600 mm
Dicke 0,02 mm bis 1 mm
Material Nickel
Oberfläche auf Anfrage: Antihaftbeschichtung, NiP-Hartbeschichtung
Zuschnitt Laserschneiden, Drahterodieren oder Schlagscheren-Zuschnitt

Roadmap für Shim-Fertigung

  • 2017 Erweiterung der Lithographie- und Galvanik-Linie
  • bis zu 1.200 mm x 800 mm strukturierbare Fläche
  • Galvanisierung von Substratgrößen bis 1.400 mm x 1.000 mm

» Siehe auch: geschweißte Sleeves