UV-Lithographie

temicon nutzt die UV-Lithographie als Mastering-Prozess für Mikrostrukturen von mehr als 1 µm Strukturgröße.

Seit mehreren Jahren hat temicon die UV-Lithographie konsequent weiterentwickelt. Einzigartig in der temicon Technologie sind z. B. Großformate im Quadratmeter-Bereich, hohes Aspektverhältnis von über 2.0, exakt einstellbare Winkel der Seitenwände oder lückenlose Linsen-Arrays. Aufgrund dieser Innovationen realisieren wir für unsere Kunden ein besonders breites Spektrum von Mikrostrukturen mit maßgeschneiderten Funktionen.

In unserem 400 m² großen Reinraum ist eine Produktionslinie für UV-Photolithographie für Wafergrößen bis zu 200 mm installiert. Dazu gehören auch Resist-Coating, Belichtung, Nassprozesse und Sputtering.