Durch Mehrfachbelichtung bei zwischenzeitlicher Drehung der Resistprobe werden in zwei Dimensionen modulierte Gitterstrukturen hergestellt. Durch Verkippen des Substrates lassen sich prismatische bzw. sägezahnähnliche Strukturformen umsetzen.
Beugungsgitter können z. B. in Dünnschicht-PV-Zellen und organischen PV-Zellen die Energieeffizienz erhöhen, indem sie Lichtwege in der PV-Schicht verlängern. temicon ist Hersteller und Lieferant von Nano-Linienstrukturen, mit denen Polarisationsfolien, sog. Nanowire-Grid-Polarisatoren, und transparente Elektroden, sog. Metal-Mesh-Oberflächen, realisiert werden können.
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