Galvanoformung im Präzisionsbereich

Galvanoformung im Bereich Mikro / Nano

Das Verfahren der Galvanoformung kommt bei der Herstellung von Metallpräzisionsteilen und mikrostrukturierten Metallfolien zur Anwendung. Zudem ist das Galvanikbad bei temicon ein wichtiger Prozessschritt bei der Fertigung von Schablonen und Formwerkzeugen für die Nanoimprint-Lithographie.

Um Mikrolochstrukturen in Metallteilen zu erzeugen, wird bei der Galvanisierung die galvanische Abscheidung beendet, bevor sie die Dicke des Photoresists erreicht. temicon fertigt auf diese Weise Mikrofilter, Mikrosiebe, Düsen oder optische Präzisionsteile wie Schlitzblenden, Lochblenden oder Encoderscheiben.

LIGA-Verfahren für die Fertigung von Shims

Für die Vervielfältigung von Nano- und Mikrostrukturen werden langlebige, metallische Formwerkzeuge für die Abformung der Strukturen benötigt, die so genannten Shims. Ein Shim kann als Spritzgusseinsatz verwendet oder repliziert und zu Sleeves (Nahtbreite < 250 µm) geschweißt werden, um Schablonen für den Prozess des Nanoimprintings zu erhalten.

Die besonderen physikalischen und mechanischen Eigenschaften von Nickel machen dieses Metall zum Werkstoff der Wahl bei der galvanischen Abscheidung im LIGA-Verfahren.

LIGA ist die Abkürzung für die Fertigungsschritte der Lithographie, Galvanik und Abformung.

Für die Herstellung eines nano- oder mikrostrukturierten Nickel-Shims wird in einem ersten Schritt eine dünne metallische Schicht auf den strukturierten Photolack aufgesputtert. Danach wird eine Nickelschicht galvanisch auf dem Photolacksubstrat abgeschieden. Die typische Dicke eines Shims liegt in einem Bereich zwischen 50 µm bis zu mehreren mm. Anschließend wird der Shim durch Laser- oder Drahtschneiden exakt auf die erforderlichen Abmessungen zugeschnitten.