Dabei kann das spezifische Design der Mikroteile in einem weiten Parameterbereich je nach Systemanforderung angepasst werden. Mit dieser Technologie werden zum Beispiel elektrische Kontaktspitzen (Mikrosonden), Mikroelektroden oder Mikrozahnräder hergestellt. In einem Transmissionselektronenmikroskop werden TEM-Gitter verwendet, die von temicon im einstelligen Mikrometerbereich hergestellt werden können. Auch mikrostrukturierte Geberscheiben oder -streifen werden in der Metrologie eingesetzt, um eine hohe Genauigkeit zu erreichen.